• 酸素ガス、水素ガス、不活性ガス（窒素およびアルゴン）専用の導入経路（導入口）を３ライン有し、各ラインのガスを混合した後、混合ガスの吐出経路（吐出口）を１ライン有します。（ただし酸素と水素は混合できません）
• 各ガスラインにデジタル式のマスフローコントローラーを備え、流量をデジタル方式で設定・表示できます。
• 酸素および水素ガスの導入ラインに設置するマスフローコントローラーで制御できるガス流量は、1〜50cc/minです。
• 不活性ガスの導入ラインに設置するマスフローコントローラーで制御できるガス流量は、N2換算で100〜5000cc/minです。

備考

　ガス混合器は複数のガスを混合して、任意の混合比率・流量で混合ガスを供給するための装置です。センターに導入したＧＢ−３Ｃ型は、デジタル式のマスフローコントローラーを備えており、高精度で再現性の良いガス混合が行えます。使用できるガスは３ライン（酸素ガス、水素ガス、不活性ガス）であり、微量の酸素（もしくは水素）を含有する不活性ガスを作製することができます。（ただし酸素と水素の混合はできません。）

　本装置で作製した混合ガスは、電気炉（酸化還元雰囲気制御炉）やグローブボックス、成膜装置などに導入することができます。利用企業の「高度なものづくり」の一助となればと思います。

■■平成２４年度財団法人ＪＫＡ（競輪）補助物件■■

• 本装置は、財団法人ＪＫＡの「平成２４年度機械工業振興事業」により導入されました。